Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/71814
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Сиделёв, Дмитрий Владимирович | ru |
dc.contributor.author | Рахимов, Кирилл Александрович | ru |
dc.date.accessioned | 2022-06-16T14:17:07Z | - |
dc.date.available | 2022-06-16T14:17:07Z | - |
dc.date.issued | 2022 | - |
dc.identifier.citation | Рахимов К. А. Влияние технологических параметров на термостабильность поверхностного сопротивления плёнок ITO, осаждённых магнетронным распылением : магистерская диссертация / К. А. Рахимов ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Д. В. Сиделёв. — Томск, 2022. | - |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/71814 | - |
dc.description.abstract | Объектом исследования являются плёнки оксида индия, легированные оловом, полученные методом плазменного магнетронного распыления керамической мишени. Цель работы – исследование влияния параметров осаждения на термостабильность получаемых покрытий ITO при магнетронном осаждении. В процессе исследования проводилось получение зависимостей поверхностного сопротивления образцов в зависимости от изменяемых параметров, а также отслеживалось влияние режимов осаждения на оптические и морфологические параметры получаемых покрытий. В результате исследования были разработаны методики получения плёнок ITO, п | ru |
dc.description.abstract | The object of the study is indium oxide films doped with tin, obtained by plasma magnetron sputtering of a ceramic target. The purpose of this work is to study the effect of deposition parameters on the thermal stability of the obtained ITO coatings during magnetron deposition. In the course of the study, the dependences of the surface resistance of the samples were obtained depending on the variable parameters, and the influence of the deposition modes on the optical and morphological parameters of the resulting coatings was monitored. As a result of the study, methods for obtaining ITO films were developed, in which they retain their thermal stability in the temperature range from 20 to 150 Celsium degrees | en |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | - |
dc.subject | оксид индия | ru |
dc.subject | легированный оловом | ru |
dc.subject | прозрачный прводящий оксид | ru |
dc.subject | магнетронная распылительная система | ru |
dc.subject | отжиг | ru |
dc.subject | indium oxide | en |
dc.subject | tin-doped | en |
dc.subject | transparent conductive oxide | en |
dc.subject | magnetron sputtering system | en |
dc.subject | annealing | en |
dc.title | Влияние технологических параметров на термостабильность поверхностного сопротивления плёнок ITO, осаждённых магнетронным распылением | ru |
dc.type | Students work | - |
local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ)::Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) | - |
local.institut | 7863 | - |
local.localtype | Студенческая работа | - |
dc.subject.oksvnk | 16.04.01 | - |
local.thesis.level | Магистр | ru |
local.thesis.discipline | Техническая физика | - |
local.local-vkr-id | 1184033 | - |
local.vkr-id | 49653 | - |
local.stud-group | 0ДМ01 | - |
local.lichnost-id | 174839 | - |
local.thesis.level-id | 3 | - |
local.tutor-lichnost-id | 156313 | - |
dc.subject.udc | 621.793.1:539.216.2:621.385.64 | - |
Располагается в коллекциях: | Магистерские диссертации |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
TPU1369770.pdf | 2,94 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.