Исследование характеристик компактного ЭЦР источника ионов на основе коаксиального четвертьволнового резонатора

Abstract

В работе была промоделирована магнитная система 2,45 ГГц ЭЦР-источника ионов на основе коаксиального четвертьволнового резонатора, а также были определены его оптимальные рабочие параметры. Установлено, что при эксплуатации источника для достижения наибольшего значения тока ионов предпочтительно использовать ввод мощности №2 с 18 мм петлей связи при следующих параметрах: f=2500 МГц, W=30 Вт, P?1,4•10^(-5) торр. Данные параметры обеспечивают лучшее согласование с линией передачи.

In this paper, the magnetic system of a 2.45 GHz ECR Ion source based on coaxial quarter-wave resonator was modeled, and its optimal operating parameters were determined. It has been established that in order to achieve the highest value of the ion current, it is preferable to use power input No. 2 with an 18 mm coupling loop with the following parameters: f=2500 MHz, W=30 W, P?1.4•10^(-5) Torr . These parameters provide a better match with the transmission line.