Технология формирования мишени для ВЧ магнетронного распыления из биметаллических частиц CU-W

Abstract

Формирование износостойких покрытий методами вакуумного напыления остается актуальной задачей в области материаловедения. Покрытия на основе тугоплавких соединений переходных металлов представляются перспективными для применения в качестве не только износостойких, но и коррозионностойких, а также антибактериальных материалов. В работе отражены технологические подходы к формированию мишени для ВЧ магнетронного распыления путем консолидации порошков металлов на основе системы Cu-W, полученных совместным электрическим взрывом двух проволочек.

The formation of wear-resistant coatings by vacuum spraying methods remains an urgent task in the field of materials science. Coatings based on refractory compounds of transition metals are promising for use as not only wear-resistant, but also corrosion-resistant, as well as antibacterial materials. The paper reflects technological approaches to the formation of a target for RF magnetron sputtering by consolidating metal powders based on the Cu-W system obtained by a joint electric explosion of two wires.