Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72926| Title: | Коррозионные свойства хромовых покрытий: роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении |
| Other Titles: | Corrosion properties of chromium coatings: effect of plasma assistance for magnetron sputtering |
| Authors: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович Грудинин, Владислав Алексеевич Алкенова, К. А. |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| Keywords: | коррозионные свойства; хромовые покрытия; магнетронное распыление; хромирование; плазменное ассистирование |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Сиделёв, Д. В. Коррозионные свойства хромовых покрытий: роль плазменного ассистирования при магнетронном распылении / Д. В. Сиделёв, В. А. Грудинин, К. А. Алкенова ; науч. рук. Д. В. Сиделёв // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2022. — Т. 1 : Физика. — [С. 173-175]. |
| Abstract: | This paper describes an effect of plasma assistance on corrosion properties of chromium coatings obtained by magnetron sputtering. It was found that plasma assistance results in 2-5 times increase in polarization resistance depending on the type of sputtering target. The most pronounced effect of plasma assistance is observed for high-rate coating deposition using magnetron sputtering with a “hot” target. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72926 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2022-C21_V1_p173-175.pdf | 192,91 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.