Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом

Анорин, В. Е.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72932

Title:	Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом
Other Titles:	Simulation of the magnetronic field of a magnetron sputtering system with a flat cathode
Authors:	Анорин, В. Е.
metadata.dc.contributor.advisor:	Сурменев, Роман Анатольевич
Keywords:	математическое моделирование; магнитные поля; магнетронные распылительные системы; эрозия; магнитные ловушки; катоды; магнетроны
Issue Date:	2022
Publisher:	Томский политехнический университет
Citation:	Анорин, В. Е. Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом / В. Е. Анорин ; науч. рук. Р. А. Сурменев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2022. — Т. 1 : Физика. — [С. 17-19].
Abstract:	In this work, we have simulated the magnetic field of a magnetron sputtering system in a flat target cathode with specified materials using the FEMM 4.2 program. The dependence of the magnetic field on the distance from the target is provided and discussed.
URI:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72932
Appears in Collections:	Материалы конференций

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
conference_tpu-2022-C21_V1_p17-19.pdf		203,7 kB	Adobe PDF	View/Open

Show full item record Google Scholar