1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72932
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.advisorСурменев, Роман Анатольевичru
dc.contributor.authorАнорин, В. Е.ru
dc.date.accessioned2022-09-07T07:52:53Z-
dc.date.available2022-09-07T07:52:53Z-
dc.date.issued2022-
dc.identifier.citationАнорин, В. Е. Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом / В. Е. Анорин ; науч. рук. Р. А. Сурменев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2022. — Т. 1 : Физика. — [С. 17-19].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/72932-
dc.description.abstractIn this work, we have simulated the magnetic field of a magnetron sputtering system in a flat target cathode with specified materials using the FEMM 4.2 program. The dependence of the magnetic field on the distance from the target is provided and discussed.en
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relationinfo:eu-repo/grantAgreement/RSF//22-13-20043-
dc.relation.ispartofПерспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г. Т. 1 : Физикаru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectматематическое моделированиеru
dc.subjectмагнитные поляru
dc.subjectмагнетронные распылительные системыru
dc.subjectэрозияru
dc.subjectмагнитные ловушкиru
dc.subjectкатодыru
dc.subjectмагнетроныru
dc.titleМоделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодомru
dc.title.alternativeSimulation of the magnetronic field of a magnetron sputtering system with a flat cathodeen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaper-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion-
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage17-
local.description.lastpage19-
local.filepathconference_tpu-2022-C21_V1_p17-19.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\36486-
local.localtypeДокладru
local.volume1-
local.conference.nameПерспективы развития фундаментальных наукru
local.conference.date2022-
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
conference_tpu-2022-C21_V1_p17-19.pdf203,7 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record   Google Scholar


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.