Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72943| Title: | Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником |
| Other Titles: | Chromium coating deposition using hot target magnetron sputtering enhanced by additional plasma source |
| Authors: | Бондарь, Альберт Алексеевич Грудинин, Владислав Алексеевич Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Сиделёв, Дмитрий Владимирович |
| Keywords: | хромовые покрытия; магнетронное распыление; мишени; плазменные источники; плазма; осаждение |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Бондарь, А. А. Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником / А. А. Бондарь, В. А. Грудинин, Д. В. Сиделёв ; науч. рук. Д. В. Сиделёв // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2022. — Т. 1 : Физика. — [С. 35-37]. |
| Abstract: | This work shows the possibility to tailor a hardness of 1 µm-thick Cr coatings obtained by high-rate deposition using magnetron sputtering with a "hot" target. For this purpose, an external plasma source was additionally applied to control the hardness of the Cr coatings in the range of 4 to 18 GPa. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72943 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2022-C21_V1_p35-37.pdf | 265,62 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.