Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72943
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Сиделёв, Дмитрий Владимирович | ru |
dc.contributor.author | Бондарь, Альберт Алексеевич | ru |
dc.contributor.author | Грудинин, Владислав Алексеевич | ru |
dc.contributor.author | Сиделёв, Дмитрий Владимирович | ru |
dc.date.accessioned | 2022-09-07T07:52:55Z | - |
dc.date.available | 2022-09-07T07:52:55Z | - |
dc.date.issued | 2022 | - |
dc.identifier.citation | Бондарь, А. А. Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником / А. А. Бондарь, В. А. Грудинин, Д. В. Сиделёв ; науч. рук. Д. В. Сиделёв // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2022. — Т. 1 : Физика. — [С. 35-37]. | ru |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72943 | - |
dc.description.abstract | This work shows the possibility to tailor a hardness of 1 µm-thick Cr coatings obtained by high-rate deposition using magnetron sputtering with a "hot" target. For this purpose, an external plasma source was additionally applied to control the hardness of the Cr coatings in the range of 4 to 18 GPa. | en |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.publisher | Томский политехнический университет | ru |
dc.relation.ispartof | Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г. Т. 1 : Физика | ru |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | - |
dc.rights | Attribution-NonCommercial 4.0 International | en |
dc.rights.uri | https://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/ | - |
dc.subject | хромовые покрытия | ru |
dc.subject | магнетронное распыление | ru |
dc.subject | мишени | ru |
dc.subject | плазменные источники | ru |
dc.subject | плазма | ru |
dc.subject | осаждение | ru |
dc.title | Осаждение хромовых покрытий с помощью магнетронного распыления «горячей» мишени с ассистированием внешним плазменным источником | ru |
dc.title.alternative | Chromium coating deposition using hot target magnetron sputtering enhanced by additional plasma source | en |
dc.type | Conference Paper | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | - |
dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | - |
dcterms.audience | Researches | en |
local.description.firstpage | 35 | - |
local.description.lastpage | 37 | - |
local.filepath | conference_tpu-2022-C21_V1_p35-37.pdf | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\36487 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\47293 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\42339 | - |
local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\34510 | - |
local.localtype | Доклад | ru |
local.volume | 1 | - |
local.conference.name | Перспективы развития фундаментальных наук | ru |
local.conference.date | 2022 | - |
Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
conference_tpu-2022-C21_V1_p35-37.pdf | 265,62 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.