Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74185| Title: | Сравнительный анализ влияния концентрации CH4/N2 на микроструктуру и свойства алмазных пленок |
| Authors: | Митулинский, Александр Сергеевич Гайдайчук, Александр Валерьевич Линник, Степан Андреевич Зенкин, Сергей Петрович |
| Keywords: | сравнительный анализ; концентрация; микроструктуры; химические свойства; алмазные пленки; химическое осаждение; остаточные напряжения |
| Issue Date: | 2022 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Сравнительный анализ влияния концентрации CH4/N2 на микроструктуру и свойства алмазных пленок / А. С. Митулинский, А. В. Гайдайчук, С. А. Линник, С. П. Зенкин // Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения : сборник научных трудов Международной научно-технической молодежной конференции, Томск, 17–21 октября 2022 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2022. — [С. 363-364]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74185 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2022-C125_p363-364.pdf | 346,15 kB | Adobe PDF | View/Open |
This item is licensed under a Creative Commons License
