Влияние параметров осаждения на структуру и функциональные свойства покрытий Ti-Al-Ta-N при использовании среднечастотного импульсного магнетронного распыления

Abstract

В работе исследовано влияние импульсного среднечастотного магнетронного распыления на микроструктуру и функциональные свойства покрытий Ti-Al-Ta-N. Установлено, что применение импульсного режима магнетронного распыления позволяет подавить рост столбчатой микроструктуры, что обуславливает повышение механических и трибологических характеристик в покрытиях Ti-Al-Ta-N

The influence of pulsed middle-frequency magnetron sputtering on the microstructure and functional properties of Ti-Al-Ta-N coatings has been studied. It has been established that the use of a pulsed mode of magnetron sputtering makes it possible to suppress the growth of a columnar microstructure, which leads to an increase in mechanical and tribological characteristics in Ti-Al-Ta-N coatings.