Исследование условий осаждения CrNx покрытий при магнетронном распылении горячей хромовой мишени в атмосфере аргона и азота

Abstract

Объект исследования – покрытия на основе нитрида хрома. В процессе исследования были даны рекомендации рабочих параметров метода высокоскоростного осаждения, при которых помимо увеличенной скорости осаждения покрытий достигается приемлемая твердость получаемых покрытий на основе нитрида хрома.

The object of research is coatings based on chromium nitride. In this paper, recommendations were given for the operating parameters of the high-speed deposition method, in which, in addition to the increased deposition rate of coatings, an acceptable hardness of the obtained coatings based on chromium nitride is achieved.