Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76228| Название: | Исследование свойств сегнетоэлектрических покрытий системы Ba-Ca-Zr-Ti-O, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления |
| Авторы: | Игнатов, Александр Алексеевич |
| Научный руководитель: | Сурменев, Роман Анатольевич |
| Ключевые слова: | тонкие плёнки; сегнетоэлектрик; сегнетоэлектрический конденсатор; титанат-цирконат бария кальция; высокочастотное магнетронное распыление; thi films; ferroelectric; energy storage; magnetron sputtering; BCZT |
| Дата публикации: | 2022 |
| Библиографическое описание: | Игнатов А. А. Исследование свойств сегнетоэлектрических покрытий системы Ba-Ca-Zr-Ti-O, полученных методом высокочастотного магнетронного распыления : магистерская диссертация / А. А. Игнатов ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. Р. А. Сурменев. — Томск, 2022. |
| Аннотация: | Исследование свойств тонких сегнетоэлектрических плёнок BCZT в зависимости от параметров режима осаждения высокочастотного магнетронного распыления Investigation of the properties of thin ferroelectric BCZT films depending on the parameters of the deposition mode of high-frequency magnetron sputtering |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76228 |
| Располагается в коллекциях: | Магистерские диссертации |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| TPU1468980.pdf | 1,82 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.