Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76328
Название: | Формирование импульсно-периодических пучков ионов титана низкой и средней энергии для высокоинтенсивной имплантации ионов |
Авторы: | Бунин, Алексей Иванович |
Научный руководитель: | Рябчиков, Александр Ильич |
Ключевые слова: | высокоинтенсивная ионная имплантация; пучки ионов; плотность ионного тока; амплитуда ионного тока; прибор CALOTEST; high-intensity ion implantation; ion beams; ion current density; ion current amplitude; CALOTEST device |
Дата публикации: | 2023 |
Библиографическое описание: | Бунин А. И. Формирование импульсно-периодических пучков ионов титана низкой и средней энергии для высокоинтенсивной имплантации ионов : магистерская диссертация / А. И. Бунин ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ), Инженерная школа ядерных технологий (ИЯТШ), Научно-образовательный центр Б.П. Вейнберга (НОЦ Б.П. Вейнберга) ; науч. рук. А. И. Рябчиков. — Томск, 2023. |
Аннотация: | Формирование высокоинтенсивных пучков ионов титана низкой и средней энергии, определение параметров формирования пучков титана; исследование закономерностей модификации стали 12Х18Н10Т высокоинтенсивной имплантацией ионов азота в условиях компенсации ионного распыления; разработка методики анализа ионно-легированного слоя стали 12Х18Н10Т ионами азота при помощи CALOTEST Formation of high-intensity beams of low- and medium-energy titanium ions, determination of the parameters of the formation of titanium beams; study of the regularities of modification of steel 12С18N10T by high-intensity implantation of nitrogen ions under conditions of ion sputtering compensation; development of a methodology for the analysis of the ion-doped layer of steel 12С18N10T nitrogen ions using CALOTEST |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/76328 |
Располагается в коллекциях: | Магистерские диссертации |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
TPU1467280.pdf | 2,56 MB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.