1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80789
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorКонищев, Максим Евгеньевичru
dc.contributor.authorГавриленко, А. В.ru
dc.contributor.authorКонищев, М. Е.ru
dc.date.accessioned2024-10-28T12:04:08Z-
dc.date.available2024-10-28T12:04:08Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationГавриленко, А. В. Исследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопией / А. В. Гавриленко, М. Е. Конищев ; науч. рук. М. Е. Конищев ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ // Перспективы развития фундаментальных наук — Томск : Изд-во ТПУ, 2023. — Т. 1 : Физика. — С. 123-125.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/80789-
dc.description.abstractThe article considers the hysteresis of the sputtering process of a titanium target in a reactive environment with oxygen and nitrogen, as well as the effect of the gas mixture on the temperature of the atmosphere of a reactive magnetron discharge. It is shown that the hysteresis loop of the process with nitrogen is practically not observed, in contrast to the situation with oxygen, but in this case, the environment heats up faster in the oxygen medium, which indicates a higher plasma energyen
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofПерспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г. Т. 1 : Физикаru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectсистемы магнетронного распыленияru
dc.subjectтонкие плёнкиru
dc.subjectскорость осажденияru
dc.subjectпроцесс напыленияru
dc.subjectнитрид титанаru
dc.subjectоксид титанаru
dc.subjectпетля гистерезисаru
dc.titleИсследование зависимости температуры атмосферы реактивного магнетронного разряда от состава газовой смеси, контролируемого оптической эмиссионной спектроскопиейru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaper-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion-
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage123-
local.description.lastpage125-
local.filepathconference_tpu-2023-C21_V1_p123-125.pdf-
local.identifier.bibrec(RuTPU)672466-
local.localtypeДокладru
local.volume1-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2023-C21_V1_p123-125.pdf808,65 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons Creative Commons