1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80827
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorЮрьев, Юрий Николаевичru
dc.contributor.authorСавельев, А. И.ru
dc.date.accessioned2024-10-28T12:04:14Z-
dc.date.available2024-10-28T12:04:14Z-
dc.date.issued2023-
dc.identifier.citationСавельев, А. И. Получение тонких пленок Nb3Sn методом магнетронного распыления / А. И. Савельев ; науч. рук. Ю. Н. Юрьев ; Инженерная школа ядерных технологий НИ ТПУ // Перспективы развития фундаментальных наук — Томск : Изд-во ТПУ, 2023. — Т. 1 : Физика. — С. 333-335.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/80827-
dc.description.abstractThis research is aimed at determining the optimal operating modes of the magnetron source, under which the formation of Nb-Sn thin films of the required composition occurs. The deposition was carried out by the method of layer-by-layer deposition of Nb and Sn and using a stoichiometric target. The coatings were annealed in vacuum at a temperature of 800 °C for 12 hoursen
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofПерспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 25-28 апреля 2023 г. Т. 1 : Физикаru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjectрадиочастотные резонаторыru
dc.subjectтоксичные веществаru
dc.subjectкомпозитная мишеньru
dc.subjectстехиометрический составru
dc.subjectвакуумный отжигru
dc.subjectпослойное осаждениеru
dc.subjectNb3Snen
dc.titleПолучение тонких пленок Nb3Sn методом магнетронного распыленияru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaper-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion-
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage333-
local.description.lastpage335-
local.filepathconference_tpu-2023-C21_V1_p333-335.pdf-
local.identifier.bibrec(RuTPU)673536-
local.localtypeДокладru
local.volume1-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2023-C21_V1_p333-335.pdf723,88 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons Creative Commons