Закономерности изменения свойств пленок меди в процессе термообработки

Abstract

Пленки меди толщиной более 4 нм проявляют, а менее 4 нм не проявляют характерные для меди полосы поглощения в диапазоне ?=300…1100 нм. Спектрофотометрическим, гравиметрическим и микроскопическим методами установлено, что в результате термической обработки в интервале температур 373…600 К в течение 1…120 мин в атмосферных условиях толщина, масса и спектр поглощения тонких пленок меди (3…100 нм) претерпевают значительные изменения. Показано, что в зависимости от первоначальной толщины пленок меди и температуры термической обработки кинетические кривые степени превращения, изменения толщины и массы образцов удовлетворительно описываются в рамках линейного, параболического или логарифмического законов. Установлено, что изменения спектров поглощения, толщины и массы пленок меди связаны с формированием на их поверхности оксида меди (I).