Browsing by Author Павлов, Сергей Константинович
Showing results 1 to 1 of 1
| Issue Date | Title | Author(s) |
|---|---|---|
| 2017 | Влияние подслоя углерода и титана на электрофизические характеристики пленки нитрида алюминия на кремнии | Инь Шаньшань; Павлов, Сергей Константинович; Ван Цайлунь |