Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/135530| Название: | Влияние плотности мощности на формирование покрытий карбида кремния при магнетронном распылении горячей мишени |
| Авторы: | Фишер, М. Э. Грудинин, Владислав Алексеевич |
| Ключевые слова: | карбид кремния; магнетронное распыление; покрытия |
| Дата публикации: | 2025 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Фишер, М. Э. Влияние плотности мощности на формирование покрытий карбида кремния при магнетронном распылении горячей мишени / Фишер М. Э., Грудинин В. А. // Современные проблемы машиностроения : сборник статей XVIII Международной научно-технической конференции, г. Томск, 24-30 ноября 2025 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2025. — С. 238-239. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/135530 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|
| conference_tpu-2025-C45_p238-239.pdf | 342,89 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons
