Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/139644
Название: Влияние состава электролита на механизмы электрохимического осаждения, структуру и свойства золотых покрытий для применения в микроэлектронике : диссертация на соискание ученой степени кандидата химических наук : спец. 1.4.4
Авторы: Вайсбеккер, Мария Сергеевна
Научный руководитель: Мостовщиков, Андрей Владимирович
Ключевые слова: Металлы — Электрохимическое осаждение; электрохимическое осаждение; золотые покрытия; микроэлектроника; цианидные электролиты; сульфит-тиосульфатные электролиты; диоды Шоттки; арсенид галлия; кремний; зародышеобразование; фотолитография; контактные площадки; адгезия покрытий; термическая стабильность; барьерные контакты; электрофизические свойства; катодное восстановление; морфология покрытий; кинетика электроосаждения; обработка поверхности; физико-механические свойства; диссертации
Дата публикации: 2026
Библиографическое описание: Вайсбеккер, М. С. Влияние состава электролита на механизмы электрохимического осаждения, структуру и свойства золотых покрытий для применения в микроэлектронике : диссертация на соискание ученой степени кандидата химических наук : спец. 1.4.4 / М. С. Вайсбеккер ; науч. рук. А. В. Мостовщиков ; Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники, Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов. — Томск, 2026.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/139644
Располагается в коллекциях:Авторефераты и диссертации

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
dis00802.pdf5,28 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons Creative Commons