Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/1478
Title: Монолитная интегральная схема двухпозиционного СВЧ коммутатора на GaAs
Authors: Петрова, Т. С.
Еремкина, Е. Л.
Игнатьев, М. Г.
Козлова, Л. А.
Баров, А. А.
Keywords: монолитные схемы; интегральные схемы; СВЧ; двухпозиционные коммутаторы; ионно-легированные структуры; полевые транзисторы; субмикронные затворы; затвор Шоттки; оптическая фотолитография
Issue Date: 2006
Publisher: Томский политехнический университет
Citation: Монолитная интегральная схема двухпозиционного СВЧ коммутатора на GaAs / Т. С. Петрова [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2006. — Т. 309, № 8. — [С. 172-175].
Abstract: Разработана и изготовлена монолитная интегральная схема двухпозиционного СВЧ коммутатора на основе ионно-легированной структуры GaAs с полевыми транзисторами с субмикронным затвором Шоттки, полученной при использовании оптической фотолитографии.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/1478
ISSN: 1684-8519
Appears in Collections:Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
bulletin_tpu-2006-309-8-38.pdf293,09 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.