1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Периодические и продолжающиеся издания
  4. Векторы благополучия: экономика и социум
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/14927
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorВоротилов, Константин Анатольевичru
dc.contributor.authorЛучников, Петр Александровичru
dc.contributor.authorПодгорный, Юрий Владимировичru
dc.contributor.authorСерегин, Дмитрий Сергеевичru
dc.date.accessioned2016-03-17T11:29:00Z-
dc.date.available2016-03-17T11:29:00Z-
dc.date.issued2011-
dc.identifier.citationОсобенности измерения диэлектрической проницаемости тонких пленок МДП-структур / К. А. Воротилов [и др.] // Вестник науки Сибири. — 2011. — № 1 (1). — [С. 220-228].ru
dc.identifier.issn2226-0064-
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/14927-
dc.description.abstractПредставлена методика точных измерений диэлектрической проницаемости ? изолирующих пленок нанометровых толщин в МДП-структурах на основе нелинейной аппроксимации экспериментальных зависимостей эквивалентной емкости МДП-структуры от частоты. В диапазоне частот четырехэлементная модель хорошо отражает комплексный импеданс МДП-структуры в аккумуляции. Учитывается влияние краевой емкости. Метрологические характеристики методики подтверждены результатами измерения ? пленки термического оксида кремния толщиной ~80 нм на кремнии. Получено значение диэлектрической проницаемости 3,825 с погрешностью 1,2 % при случайной составляющей 0,13 %.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofВестник науки Сибири. 2011. № 1 (1)ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.sourceВестник науки Сибириru
dc.subjectМДП-структурыru
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjectдиэлектрическая проницаемостьru
dc.subjectизолирующие пленкиru
dc.subjectтермические оксидыru
dc.subjectкраевой эффектru
dc.subjectомический контактru
dc.titleОсобенности измерения диэлектрической проницаемости тонких пленок МДП-структурru
dc.typeArticleen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/articleen
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage220-
local.description.lastpage228-
local.filepathhttp://sjs.tpu.ru/journal/article/viewPDFInterstitial/49/78-
local.identifier.bibrecRU\TPU\prd\144280-
local.issue1-
local.localtypeСтатьяru
Располагается в коллекциях:Векторы благополучия: экономика и социум

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
78.pdf759,33 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.