Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17435| Title: | Control of vacuum arc macroparticles by negative repetitively pulsed biasing |
| Authors: | Ryabchikov, Aleksandr Ilyich Sivin, Denis Olegovich Bumagina, Anna Ivanovna Andriyashin, D. A. |
| Keywords: | макрочастицы; плазма; вакуумные дуги; подложки |
| Issue Date: | 2015 |
| Citation: | Control of vacuum arc macroparticles by negative repetitively pulsed biasing / A. I. Ryabchikov [et al.] // Физико-технические проблемы в науке, промышленности и медицине : сборник тезисов докладов VII Международной научно-практической конференции, г. Томск, 3-6 июня 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 207]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/17435 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C49-175.pdf | 604,81 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.