Распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных вакуумно-дуговым осаждением с различным потенциалом смещения

Чжан Ле; Кашкаров, Егор Борисович

Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19170

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	Кашкаров, Егор Борисович	ru
dc.contributor.author	Чжан Ле	ru
dc.contributor.author	Кашкаров, Егор Борисович	ru
dc.date.accessioned	2016-04-08T11:17:55Z	-
dc.date.available	2016-04-08T11:17:55Z	-
dc.date.issued	2015	-
dc.identifier.citation	Чжан Ле. Распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных вакуумно-дуговым осаждением с различным потенциалом смещения / Чжан Ле, Е. Б. Кашкаров ; науч. рук. Е. Б. Кашкаров // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XII Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 302-304].	ru
dc.identifier.uri	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19170	-
dc.description.abstract	This paper is devoted to investigation of element distribution and microparticles formation during deposition of titanium nitride coatings by cathodic vacuum arc with pulsed bias voltage. The results revealed that with the increase in bias voltage from -100 to -300 V, Ti/N ratio and the quantity and size of microparticles decreased. Meanwhile, the uniform distribution of elements in TiN coatings was observed.	ru
dc.language.iso	ru	en
dc.relation.ispartof	Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XII Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г. — Томск, 2015.	ru
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess	en
dc.subject	покрытия	ru
dc.subject	нитрид титана	ru
dc.subject	вакуумно-дуговое осаждение	ru
dc.subject	смещения	ru
dc.title	Распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных вакуумно-дуговым осаждением с различным потенциалом смещения	ru
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferencePaper	en
dcterms.audience	Researches	en
local.department	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра общей физики (ОФ)	ru
local.description.firstpage	302	-
local.description.lastpage	304	-
local.filepath	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C21/090.pdf	-
local.identifier.bibrec	RU\TPU\conf\11132	-
local.identifier.colkey	RU\TPU\col\18734	-
local.identifier.perskey	RU\TPU\pers\30728	-
local.localtype	Доклад	ru
local.conference.name	Перспективы развития фундаментальных наук	-
local.conference.date	2015	-
Appears in Collections:	Материалы конференций

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
conference_tpu-2015-C21-090.pdf		234,57 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record