Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19399Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.advisor | Юрьева, Алена Викторовна | ru |
| dc.contributor.author | Николаев, М. В. | ru |
| dc.contributor.author | Зайцев, Данила Александрович | ru |
| dc.date.accessioned | 2016-04-11T17:12:51Z | - |
| dc.date.available | 2016-04-11T17:12:51Z | - |
| dc.date.issued | 2015 | - |
| dc.identifier.citation | Николаев М. В. Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом / М. В. Николаев, Д. А. Зайцев ; науч. рук. А. В. Юрьева // Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых : сборник научных трудов VI Всероссийской конференции, г. Томск, 22-24 апреля 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 193-200]. | ru |
| dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19399 | - |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.relation.ispartof | Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых : сборник научных трудов VI Всероссийской конференции, г. Томск, 22-24 апреля 2015 г. — Томск, 2015. | ru |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.subject | магнетронные системы | ru |
| dc.subject | распылительные системы | ru |
| dc.subject | жидкофазные катоды | ru |
| dc.subject | тонкопленочные покрытия | ru |
| dc.title | Магнетронная распылительная система с жидкофазным катодом | ru |
| dc.type | Conference Paper | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/conferencePaper | en |
| dcterms.audience | Researches | en |
| local.department | Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра водородной энергетики и плазменных технологий (ВЭПТ) | ru |
| local.description.firstpage | 193 | - |
| local.description.lastpage | 200 | - |
| local.filepath | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2015/C08/056.pdf | - |
| local.identifier.bibrec | RU\TPU\conf\10438 | - |
| local.identifier.colkey | RU\TPU\col\18735 | - |
| local.identifier.perskey | RU\TPU\pers\34511 | - |
| local.localtype | Доклад | ru |
| local.conference.name | Ресурсоэффективным технологиям - энергию и энтузиазм молодых | - |
| local.conference.date | 2015 | - |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C08-056.pdf | 521,68 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.