Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита

Мельников, Е. С.; Мухаметкалиев, Т. М.

Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20498

Full metadata record

DC Field	Value	Language
dc.contributor.advisor	Сурменев, Роман Анатольевич	ru
dc.contributor.author	Мельников, Е. С.	ru
dc.contributor.author	Мухаметкалиев, Т. М.	ru
dc.date.accessioned	2016-04-13T07:02:49Z	-
dc.date.available	2016-04-13T07:02:49Z	-
dc.date.issued	2014	-
dc.identifier.citation	Мельников Е. С. Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита / Е. С. Мельников, Т. М. Мухаметкалиев ; науч. рук. Р. А. Сурменев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 144-146].	ru
dc.identifier.uri	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20498	-
dc.description.abstract	In this study characteristics of RF-magnetron discharge as temperature of electrons, plasma density and electrons speed were investigated by a Langmuir double probe. The goal was to find out the dependence between different deposition modes and RF-magnetron plasma parameters.	ru
dc.language.iso	ru	en
dc.relation.ispartof	Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск, 2014.	ru
dc.rights	info:eu-repo/semantics/openAccess	en
dc.subject	характеристика	ru
dc.subject	плазма	ru
dc.subject	высокочастотные разряды	ru
dc.subject	магнетронные разряды	ru
dc.subject	распыление	ru
dc.subject	мишени	ru
dc.subject	гидроксиапатит	ru
dc.title	Исследование характеристик плазмы ВЧ-магнетронного разряда при распылении мишени на основе гидроксиапатита	ru
dc.type	Conference Paper	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/publishedVersion	en
dc.type	info:eu-repo/semantics/conferencePaper	en
dcterms.audience	Researches	en
local.department	Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра теоретической и экспериментальной физики (ТиЭФ)	ru
local.description.firstpage	144	-
local.description.lastpage	146	-
local.filepath	http://www.lib.tpu.ru/fulltext/c/2014/C21/041.pdf	-
local.identifier.bibrec	RU\TPU\conf\4169	-
local.identifier.colkey	RU\TPU\col\18726	-
local.localtype	Доклад	ru
local.conference.name	Перспективы развития фундаментальных наук	-
local.conference.date	2014	-
Appears in Collections:	Материалы конференций

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
conference_tpu-2014-C21-041.pdf		151,76 kB	Adobe PDF	View/Open

Show simple item record