Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/21390| Title: | Закономерности структурообразования пленок CO, полученных методом CVD из диимината кобальта, в зависимости от температурных условий осаждения |
| Authors: | Хайруллин, Рустам Равильевич Доровских, С. И. |
| Keywords: | структурообразование; пленки; кобальт; дииминат кобальта; температурные условия; осаждение; CVD-метод |
| Issue Date: | 2014 |
| Citation: | Хайруллин Р. Р. Закономерности структурообразования пленок CO, полученных методом CVD из диимината кобальта, в зависимости от температурных условий осаждения / Р. Р. Хайруллин, С. И. Доровских // Современное состояние и проблемы естественных наук : сборник трудов Всероссийской научно-практической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Юрга, 17-18 апреля 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 48-51]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/21390 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2014-C68-014.pdf | 421,17 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.