1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/25997
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.advisorПичугин, Владимир Федоровичru
dc.contributor.authorИванова, Нина Михайловнаru
dc.contributor.authorПустовалова, Алла Александровнаru
dc.date.accessioned2016-06-22T16:30:44Z-
dc.date.available2016-06-22T16:30:44Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationИванова Н. М. Влияние напряжения смещения на морфологию поверхности и структуру азотсодержащих тонких пленок диоксида титана / Н. М. Иванова, А. А. Пустовалова ; науч. рук. В. Ф. Пичугин // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2016. — Т. 1 : Физика. — [С. 112-114].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/25997-
dc.description.abstractNitrogen-TiO2 thin films have been deposited by the reactive magnetron sputtering by using differentO2/N2 gas ratios and negative bias voltage. This work reports on the study results of the changes in the surfacemorphology, structure and phase composition of the thin films depending on deposition modes. SEM analysisshowed the reduction of grains with nitrogen introduction. XRD data demonstrated phase transition in the filmsthrough the nitrogen incorporation and bias voltage applying.en
dc.language.isoruen
dc.publisherИзд-во ТПУru
dc.relation.ispartofПерспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIII Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2016 г. . Т. 1 : Физика. — Томск, 2016.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectдиоксид титанаru
dc.subjectфизико-химические свойстваru
dc.subjectэлектрические свойстваru
dc.subjectмагнетронные распылительные системыru
dc.subjectнержавеющие сталиru
dc.titleВлияние напряжения смещения на морфологию поверхности и структуру азотсодержащих тонких пленок диоксида титанаru
dc.title.alternativeInfluence of bias voltage on the surface morphology and structure of nitrogen-containing titanium dioxide thin filmsen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.departmentНациональный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ)::Физико-технический институт (ФТИ)::Кафедра экспериментальной физики (ЭФ)ru
local.description.firstpage112-
local.description.lastpage114-
local.filepathconference_tpu-2016-C21_V1_p112-114.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\16478-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\21255-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\34113-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\31045-
local.localtypeДокладru
local.volume1-
local.conference.nameПерспективы развития фундаментальных наук-
local.conference.date2016-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2016-C21_V1_p112-114.pdf1,69 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.