Математическое моделирование начальной стадии процесса внедрения ионов в поверхность металла в неизотермическом приближении

Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45457

Title:	Математическое моделирование начальной стадии процесса внедрения ионов в поверхность металла в неизотермическом приближении
Authors:	Парфенова, Е. С. Князева, А. Г.
metadata.dc.contributor.advisor:	Князева, А. Г.
Keywords:	электронные ресурсы; имплантация; примеси; соединения; диффузионные процессы; теплопроводность
Issue Date:	2017
Citation:	Парфенова Е. С. Математическое моделирование начальной стадии процесса внедрения ионов в поверхность металла в неизотермическом приближении / Е. С. Парфенова, А. Г. Князева ; науч. рук. А. Г. Князева // Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017) : сборник научных трудов VI Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 27–29 ноября 2017 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — [С. 378-379].
URI:	http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45457
Appears in Collections:	Материалы конференций

Files in This Item:

File	Description	Size	Format
conference_tpu-2017-C17_p378-379.pdf		809,45 kB	Adobe PDF	View/Open