1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/45495
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.advisorЗолкин, А. С.ru
dc.contributor.authorСемерикова, А. И.ru
dc.date.accessioned2017-12-20T04:10:02Z-
dc.date.available2017-12-20T04:10:02Z-
dc.date.issued2017-
dc.identifier.citationСемерикова А. И. Свойства аморфных углеродных гидогенизированных пленок на германии. Ионно-лучевая технология / А. И. Семерикова ; науч. рук. А. С. Золкин // Высокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017) : сборник научных трудов VI Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 27–29 ноября 2017 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2017. — [С. 106-107].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/45495-
dc.language.isoruen
dc.relation.ispartofВысокие технологии в современной науке и технике (ВТСНТ-2017) : сборник научных трудов VI Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 27–29 ноября 2017 г. — Томск, 2017.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectэлектронные ресурсыru
dc.subjectаморфные пленкиru
dc.subjectсинтезru
dc.subjectоптикаru
dc.subjectИк-диапазоныru
dc.subjectимплантацияru
dc.titleСвойства аморфных углеродных гидогенизированных пленок на германии. Ионно-лучевая технологияru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaperen
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage106-
local.description.lastpage107-
local.filepathconference_tpu-2017-C17_p106-107.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\24608-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameВысокие технологии в современной науке и технике-
local.conference.date2017-
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
conference_tpu-2017-C17_p106-107.pdf657,84 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.