1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Периодические и продолжающиеся издания
  4. Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/496
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorЖуков, Владислав Вячеславовичru
dc.contributor.authorКривобоков, Валерий Павловичru
dc.contributor.authorЯнин, С. Н.ru
dc.date.accessioned2015-11-20T02:39:00Z-
dc.date.available2015-11-20T02:39:00Z-
dc.date.issued2004-
dc.identifier.citationЖуков В. В. Распыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучком / В. В. Жуков, В. П. Кривобоков, С. Н. Янин // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2004. — Т. 307, № 7. — [С. 40-45].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/496-
dc.description.abstractРассмотрена проблема управления параметрами магнетронного разряда в условиях его ассистирования пучком ускоренных ионов. Сделана попытка устранить ограничения в скорости осаждения покрытий при реактивном магнетронном распылении материалов на постоянном токе, вызванных образованием химических соединений на мишени. Предложен способ эффективного удаления продуктов химических реакций с поверхности распыляемого материала, основанный на ионном ассистировании магнетронного разряда внешним пучком ускоренных ионов. Рассмотрена комбинированная распылительная система магнетронного диода и ионного источника с замкнутым дрейфом электронов. Изучены ее основные электрофизические и технологические параметры. Показано, что при соблюдении определенных условий (мощность, парциальное давление реактивного газа, скорость подачи рабочей газовой смеси и др.) удается достичь значительного увеличения скорости осаждения оксидных пленок.ru
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofИзвестия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. 2004. Т. 307, № 7-
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.sourceИзвестия Томского политехнического университета-
dc.subjectраспыление-
dc.subjectмишени-
dc.subjectассистирование-
dc.subjectмагнетронный разряд-
dc.subjectионные пучки-
dc.subjectпроблемы-
dc.subjectуправление-
dc.subjectпараметры-
dc.subjectусловия-
dc.subjectускоренные ионы-
dc.subjectскорость-
dc.subjectосаждение-
dc.subjectпокрытия-
dc.subjectматериалы-
dc.subjectпостоянный ток-
dc.subjectхимические соединения-
dc.subjectудаление-
dc.subjectпродукты-
dc.subjectхимические реакции-
dc.subjectповерхность-
dc.subjectраспылительные системы-
dc.subjectмагнетронные диоды-
dc.subjectионные источники-
dc.subjectдрейф-
dc.subjectэлектроны-
dc.subjectэлектрофизические параметры-
dc.subjectтехнологические параметры-
dc.subjectмощность-
dc.subjectпарциальное давление-
dc.subjectреактивные газы-
dc.subjectгазовые смеси-
dc.subjectподача-
dc.subjectоксидные пленки-
dc.titleРаспыление мишени при ассистировании магнетронного разряда ионным пучкомru
dc.typeArticleen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersionen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/articleen
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage40-
local.description.lastpage45-
local.filepathhttp://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2004/v307/i7/09.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\book\184350-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\21971-
local.issue7-
local.localtypeСтатьяru
local.volume307-
Располагается в коллекциях:Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
bulletin_tpu-2004-307-7-09.pdf315,25 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.