1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Авторефераты и диссертации
Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/52762
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.advisorСоловьев, Андрей Александровичru
dc.contributor.authorШипилова, Анна Викторовнаru
dc.date.accessioned2019-02-12T06:07:09Z-
dc.date.available2019-02-12T06:07:09Z-
dc.date.issued2018-
dc.identifier.citationШипилова А. В. Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления : диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 01.04.07 / А. В. Шипилова ; Российская академия наук (РАН), Сибирское отделение (СО), Институт сильноточной электроники (ИСЭ) ; науч. рук. А. А. Соловьев. — Томск, 2018. — 180 л. : ил.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/52762-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.subjectЭлектрохимия прикладнаяru
dc.subjectдиссертацииru
dc.subjectструктурыru
dc.subjectсвойстваru
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjectмагнетронное распылениеru
dc.subjectмагнетронное осаждениеru
dc.subjectэлектролитыru
dc.subjectтопливные элементыru
dc.subjectраспылительные системыru
dc.subjectанодыru
dc.subjectприповерхностные слоиru
dc.subjectтвердооксидные элементыru
dc.subjectпокрытияru
dc.subjectизмерительное оборудованиеru
dc.subjectмногослойные структурыru
dc.titleСтруктура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 01.04.07ru
dc.typeThesis-
dc.typeDissertation-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/authorVersion-
dcterms.audienceResearches-
local.filepathdis00293.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\book\369682-
local.localtypeДиссертацияru
dc.subject.oksvnk01.04.07-
local.thesis.levelКандидат наукru
local.thesis.degreeКандидат технических наукru
local.thesis.disciplineФизика конденсированного состоянияru
Appears in Collections:Авторефераты и диссертации

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
dis00293.pdf8,01 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.