Исследование физико-механических свойств многослойных алмазных покрытий (Research of physico-mechanical properties of diamond coatings)

Abstract

Объектом исследования являются алмазные пленки синтезированные при разной концентрации CH4. В настоящие время поликристаллический алмаз используется в качестве упрочняющих и износостойких покрытий для режущих инструментов, выходных окон мощных лазеров и высокоэффективных радиаторов. Целью работы является: исследование физико-механических свойств алмазных покрытий. В данной работе были поставлены следующие задачи: оценить фазовую чистоту и микроструктуру алмазных пленок с помощью рентгеноструктурного анализа, определить плотность тонких пленок алмаза, определить нанотвердость алмазных пленок, синтезированных в различных условиях, а также провести исследования трибологических свойств алмазных пленок.

The object of the study are diamond films synthesized at different concentrations of CH4. Polycrystalline diamond is used as hardening and wear-resistant coatings for cutting tools, output windows of high-power lasers and high-performance radiators in real time. The purpose of the study is the physicomechanical properties of diamond coatings. The following tasks were set: to evaluate the phase purity and microstructure of diamond films using X-ray analysis, to determine the density of thin diamond films, to determine the nanohardness of diamond films synthesized under various conditions, and to study the tribological properties of diamond films.