Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6273
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.advisorРемнев, Геннадий Ефимовичru
dc.contributor.authorЛи Цзень Феньru
dc.date.accessioned2015-12-02T04:06:09Z-
dc.date.available2015-12-02T04:06:09Z-
dc.date.issued2006-
dc.identifier.citationЛи Цзень Фень. Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Ли Цзень Фень ; Научно-исследовательский институт высоких напряжений (НИИВН); науч. рук. Г. Е. Ремнев. — Томск, 2006. — 18 с. : ил.ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/6273-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccessen
dc.subjectтонкие пленкиru
dc.subjectполучениеru
dc.subjectпленки арсенида галияru
dc.subjectимпульсные мощные ионные пучкиru
dc.subjectвоздействиеru
dc.subjectосаждениеru
dc.subjectабляционная плазмаru
dc.subjectавторефераты диссертацийru
dc.titleОсаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наукru
dc.typeThesisen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/authorVersionen
dcterms.audienceResearchesen
local.filepathhttp://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2006/26.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\book\110183-
local.identifier.colkeyRU\TPU\col\3249-
local.localtypeАвтореферат диссертацииru
dc.subject.oksvnk05.09.02-
dc.subject.oksvnk01.04.04-
local.thesis.levelКандидат наукru
local.thesis.degreeКандидат технических наукru
local.thesis.disciplineЭлектротехнические материалы и изделияru
local.thesis.disciplineФизическая электроникаru
Appears in Collections:Авторефераты и диссертации

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
thesis_tpu-2006-26.pdf1,3 MBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.