Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6273
Full metadata record
DC Field | Value | Language |
---|---|---|
dc.contributor.advisor | Ремнев, Геннадий Ефимович | ru |
dc.contributor.author | Ли Цзень Фень | ru |
dc.date.accessioned | 2015-12-02T04:06:09Z | - |
dc.date.available | 2015-12-02T04:06:09Z | - |
dc.date.issued | 2006 | - |
dc.identifier.citation | Ли Цзень Фень. Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук / Ли Цзень Фень ; Научно-исследовательский институт высоких напряжений (НИИВН); науч. рук. Г. Е. Ремнев. — Томск, 2006. — 18 с. : ил. | ru |
dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6273 | - |
dc.format.mimetype | application/pdf | - |
dc.language.iso | ru | en |
dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
dc.subject | тонкие пленки | ru |
dc.subject | получение | ru |
dc.subject | пленки арсенида галия | ru |
dc.subject | импульсные мощные ионные пучки | ru |
dc.subject | воздействие | ru |
dc.subject | осаждение | ru |
dc.subject | абляционная плазма | ru |
dc.subject | авторефераты диссертаций | ru |
dc.title | Осаждение пленок GaAs из абляционной плазмы, формируемой импульсным мощным ионным пучком: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук | ru |
dc.type | Thesis | en |
dc.type | info:eu-repo/semantics/authorVersion | en |
dcterms.audience | Researches | en |
local.filepath | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/a/2006/26.pdf | - |
local.identifier.bibrec | RU\TPU\book\110183 | - |
local.identifier.colkey | RU\TPU\col\3249 | - |
local.localtype | Автореферат диссертации | ru |
dc.subject.oksvnk | 05.09.02 | - |
dc.subject.oksvnk | 01.04.04 | - |
local.thesis.level | Кандидат наук | ru |
local.thesis.degree | Кандидат технических наук | ru |
local.thesis.discipline | Электротехнические материалы и изделия | ru |
local.thesis.discipline | Физическая электроника | ru |
Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
thesis_tpu-2006-26.pdf | 1,3 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.