1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/64521
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorParfenova, Elena Sergeevnaen
dc.date.accessioned2021-02-19T10:31:07Z-
dc.date.available2021-02-19T10:31:07Z-
dc.date.issued2016-
dc.identifier.citationParfenova E. S. The nonisothermal model of the initial stage of ion implantation process / E. S. Parfenova // Nanoparticles, nanostructured coatings and microcontainers: technology, properties, applications : 7th International Conference, May 12-15, 2016, Tomsk, Russia. — Tomsk, 2016. — [P. 51].en
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/64521-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoenen
dc.relation.ispartofNanoparticles, nanostructured coatings and microcontainers: technology, properties, applications : 7th International Conference, May 12-15, 2016, Tomsk, Russiaen
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectионная имплантацияru
dc.subjectобработкаru
dc.subjectматериалыru
dc.subjectповерхностные слоиru
dc.subjectдиффузия примесейru
dc.subjectмеханические напряженияru
dc.subjectкомпьютерное моделированиеru
dc.titleThe nonisothermal model of the initial stage of ion implantation processen
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaper-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion-
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage51-
local.filepathconference_tpu-2016-C116_p51.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\23447-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\34500-
local.localtypeДокладru
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2016-C116_p51.pdf208,17 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons Creative Commons