Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6578| Title: | Модели, алгоритмическое и программное обеспечение системы управления многозонной термической установкой для выращивания кристаллов: автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук: спец. 05.13.01 |
| Authors: | Филиппов, Максим Михайлович |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Кочегуров, Владимир Александрович |
| Keywords: | Полупроводники — Кристаллы — Получение; Электротермическое оборудование — Автоматическое регулирование; авторефераты диссертаций; монокристаллы; выращивание; метод Бриджмена; многозонные термические установки; разработка; тепловые процессы; настройка; исследование; численные методы; управление; программно-алгоритмические средства |
| Issue Date: | 2010 |
| Citation: | Филиппов М. М. Модели, алгоритмическое и программное обеспечение системы управления многозонной термической установкой для выращивания кристаллов : автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : спец. 05.13.01 / М. М. Филиппов ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет (ТПУ) ; науч. рук. В. А. Кочегуров. — Томск, 2010. — 18 с. : ил. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/6578 |
| Appears in Collections: | Авторефераты и диссертации |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| thesis_tpu-2010-41.pdf | 658,29 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.