Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72932| Название: | Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом |
| Другие названия: | Simulation of the magnetronic field of a magnetron sputtering system with a flat cathode |
| Авторы: | Анорин, В. Е. |
| Научный руководитель: | Сурменев, Роман Анатольевич |
| Ключевые слова: | математическое моделирование; магнитные поля; магнетронные распылительные системы; эрозия; магнитные ловушки; катоды; магнетроны |
| Дата публикации: | 2022 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Анорин, В. Е. Моделирование магнитного поля магнетронной распылительной системы с плоским катодом / В. Е. Анорин ; науч. рук. Р. А. Сурменев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XIX Международной конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, г. Томск, 26-29 апреля 2022 г. : в 7 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2022. — Т. 1 : Физика. — [С. 17-19]. |
| Аннотация: | In this work, we have simulated the magnetic field of a magnetron sputtering system in a flat target cathode with specified materials using the FEMM 4.2 program. The dependence of the magnetic field on the distance from the target is provided and discussed. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/72932 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2022-C21_V1_p17-19.pdf | 203,7 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons
