1. Электронный архив ТПУ
  2. Наука
  3. Материалы конференций
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/74185
Полная запись метаданных
Поле DCЗначениеЯзык
dc.contributor.authorМитулинский, Александр Сергеевичru
dc.contributor.authorГайдайчук, Александр Валерьевичru
dc.contributor.authorЛинник, Степан Андреевичru
dc.contributor.authorЗенкин, Сергей Петровичru
dc.date.accessioned2022-12-12T17:04:52Z-
dc.date.available2022-12-12T17:04:52Z-
dc.date.issued2022-
dc.identifier.citationСравнительный анализ влияния концентрации CH4/N2 на микроструктуру и свойства алмазных пленок / А. С. Митулинский, А. В. Гайдайчук, С. А. Линник, С. П. Зенкин // Перспективные материалы конструкционного и функционального назначения : сборник научных трудов Международной научно-технической молодежной конференции, Томск, 17–21 октября 2022 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2022. — [С. 363-364].ru
dc.identifier.urihttp://earchive.tpu.ru/handle/11683/74185-
dc.format.mimetypeapplication/pdf-
dc.language.isoruen
dc.publisherТомский политехнический университетru
dc.relation.ispartofПерспективные материалы конструкционного и функционального назначения : сборник научных трудов Международной научно-технической молодежной конференции, Томск, 17–21 октября 2022 г.ru
dc.rightsinfo:eu-repo/semantics/openAccess-
dc.rightsAttribution-NonCommercial 4.0 Internationalen
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/-
dc.subjectсравнительный анализru
dc.subjectконцентрацияru
dc.subjectмикроструктурыru
dc.subjectхимические свойстваru
dc.subjectалмазные пленкиru
dc.subjectхимическое осаждениеru
dc.subjectостаточные напряженияru
dc.titleСравнительный анализ влияния концентрации CH4/N2 на микроструктуру и свойства алмазных пленокru
dc.typeConference Paperen
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/conferencePaper-
dc.typeinfo:eu-repo/semantics/publishedVersion-
dcterms.audienceResearchesen
local.description.firstpage363-
local.description.lastpage364-
local.filepathconference_tpu-2022-C125_p363-364.pdf-
local.identifier.bibrecRU\TPU\conf\37071-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\46938-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\28207-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\28210-
local.identifier.perskeyRU\TPU\pers\41879-
local.localtypeДокладru
local.conference.nameПерспективные материалы конструкционного и функционального назначенияru
local.conference.date2022-
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
conference_tpu-2022-C125_p363-364.pdf346,15 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать базовое описание ресурса Статистика


Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons Creative Commons