Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80560| Название: | Исследование процесса напыления DLC покрытий с помощью импульсно-дугового испарителя |
| Авторы: | Гавриленко, А. В. |
| Научный руководитель: | Юрьев, Юрий Николаевич |
| Ключевые слова: | DLC покрытия; импульсно-дуговой испаритель; ионный источник; углеродная мишень; электрические характеристики |
| Дата публикации: | 2024 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Гавриленко, А. В. Исследование процесса напыления DLC покрытий с помощью импульсно-дугового испарителя / А. В. Гавриленко ; науч. рук. Ю. Н. Юрьев ; Национальный исследовательский Томский политехнический университет // Перспективы развития фундаментальных наук — Томск : Изд-во ТПУ, 2024. — Т. 1 : Физика. — С. 112-114. |
| Аннотация: | The article discusses the process of applying a DLC coating using a pulsed arc evaporator, as well as the effect of the electrical characteristics of the pulsed arc on the properties of the resulting DLC coatings. It is shown that, with an increase in the storage voltage, the current strength increases. However, the pulse frequency has little effect on the current strength and shape of the graph. After a series of depositions of DLC coatings under different operating conditions, it was found that a coating obtained at 200V storage voltage and 2Hz pulse frequency had greater hardness and flexibility, respectively: 68.8 ± 8.1GPa and 511 ± 66GPa |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/80560 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2024-C21_V1_p112-114.pdf | 644,91 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons
