Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/84205| Название: | Разработка составов стекла для микроэлектроники |
| Авторы: | Плеханов, Т. И. Данилин, А. В. Комаров, Д. В. Дитц, Александр Андреевич |
| Научный руководитель: | Дитц, Александр Андреевич |
| Ключевые слова: | стекло; микроэлектроника; поверхностно-активные добавки |
| Дата публикации: | 2024 |
| Издатель: | Томский политехнический университет |
| Библиографическое описание: | Разработка составов стекла для микроэлектроники / Т. И. Плеханов, А. В. Данилин, Д. В. Комаров, А. А. Дитц ; науч. рук. А. А. Дитц // Химия и химическая технология в XXI веке. — Томск : Изд-во ТПУ, 2024. — Т. 2. — С. 216-218. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/84205 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|
| conference_tpu-2024-C27_V2_p216-218.pdf | 303,15 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Лицензия на ресурс: Лицензия Creative Commons
