Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/858Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Жуков, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Кривобоков, В. П. | ru |
| dc.contributor.author | Пацевич, В. В. | ru |
| dc.contributor.author | Янин, С. Н. | ru |
| dc.date.accessioned | 2015-11-20T02:41:39Z | - |
| dc.date.available | 2015-11-20T02:41:39Z | - |
| dc.date.issued | 2005 | - |
| dc.identifier.citation | Свойства магнетронного разряда на постоянном токе / В. В. Жуков [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2005. — Т. 308, № 6. — [С. 69-74]. | ru |
| dc.identifier.uri | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/858 | - |
| dc.description.abstract | Выполнены зондовые измерения пространственного распределения электрического потенциала в магнетронном диоде на постоянном токе вблизи катода. Вычислены скорость ионизации рабочего газа, концентрация плазмы в зависимости от тока разряда, координатное распределение ионной и электронной компонент разрядного тока, энергетическое распределение ускоренных ионов аргона на поверхности мишени. Показано, что основные процессы в плазме, приводящие к распылению, протекают в приповерхностном слое мишени толщиной несколько мм. | ru |
| dc.format.mimetype | application/pdf | - |
| dc.language.iso | ru | en |
| dc.publisher | Томский политехнический университет | ru |
| dc.relation.ispartof | Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. 2005. Т. 308, № 6 | - |
| dc.rights | info:eu-repo/semantics/openAccess | en |
| dc.source | Известия Томского политехнического университета | - |
| dc.subject | свойства | - |
| dc.subject | магнетронный разряд | - |
| dc.subject | постоянный ток | - |
| dc.subject | механизмы | - |
| dc.subject | распыления | - |
| dc.subject | мишени | - |
| dc.subject | зондовые измерения | - |
| dc.subject | электрический потенциал | - |
| dc.subject | магнетронные диоды | - |
| dc.subject | катоды | - |
| dc.subject | скорость | - |
| dc.subject | ионизация | - |
| dc.subject | рабочий газ | - |
| dc.subject | концентрация | - |
| dc.subject | плазма | - |
| dc.subject | координатное распределение | - |
| dc.subject | ионные компоненты | - |
| dc.subject | электронные компоненты | - |
| dc.subject | разрядный ток | - |
| dc.subject | энергетическое распределение | - |
| dc.subject | ускоренные ионы | - |
| dc.subject | аргон | - |
| dc.subject | поверхность | - |
| dc.subject | процессы | - |
| dc.subject | плазма | - |
| dc.subject | приповерхностные слои | - |
| dc.title | Свойства магнетронного разряда на постоянном токе | ru |
| dc.type | Article | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/publishedVersion | en |
| dc.type | info:eu-repo/semantics/article | en |
| dcterms.audience | Researches | en |
| local.description.firstpage | 69 | - |
| local.description.lastpage | 74 | - |
| local.filepath | http://www.lib.tpu.ru/fulltext/v/Bulletin_TPU/2005/v308/i6/14.pdf | - |
| local.identifier.bibrec | RU\TPU\book\185222 | - |
| local.issue | 6 | - |
| local.localtype | Статья | ru |
| local.volume | 308 | - |
| Располагается в коллекциях: | Известия Томского политехнического университета. Инжиниринг георесурсов | |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| bulletin_tpu-2005-308-6-14.pdf | 476,59 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.