Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/132865| Title: | Сравнительный анализ особенностей формирования состава плазмы при магнетронном распылении карбида кремния с использованием охлаждаемой и горячей мишеней |
| Other Titles: | Comparative analysis of features of plasma composition formation during magnetron sputtering of silicon carbide using cooled and hot targets |
| Authors: | Фишер, М. Э. Грудинин, Владислав Алексеевич |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Грудинин, Владислав Алексеевич |
| Keywords: | silicon carbide; magnetron sputtering; OES-analysis |
| Issue Date: | 2025 |
| Publisher: | Томский политехнический университет |
| Citation: | Фишер, М. Э. Сравнительный анализ особенностей формирования состава плазмы при магнетронном распылении карбида кремния с использованием охлаждаемой и горячей мишеней / М. Э. Фишер, В. А. Грудинин ; науч. рук. В. А. Грудинин // Перспективы развития фундаментальных наук. — Томск : Изд-во ТПУ, 2025. — Т. 1 : Физика. — С. 263-265. |
| Abstract: | In this work the influence of the target type on the peculiarities of plasma composition formation during magnetron sputtering of silicon carbide is considered. The plasma composition was determined by optical emission spectroscopy. It is revealed that at magnetron sputtering of hot target the intensity of plasma components increases |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/132865 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Size | Format | |
|---|---|---|---|
| conference_tpu-2025-C21_V1_p263-265.pdf | 942,4 kB | Adobe PDF | View/Open |
This item is licensed under a Creative Commons License
