Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/15596
Title: Методы напыления ультратонких металлических пленок
Authors: Тесленок, А. В.
Keywords: напыление; ультратонкие пленки; металлические пленки
Issue Date: 2015
Citation: Тесленок А. В. Методы напыления ультратонких металлических пленок / А. В. Тесленок // Высокие технологии в современной науке и технике : сборник научных трудов IV Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 40-43].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/15596
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
conference_tpu-2015-C17-009.pdf297,89 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.