Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16309
Название: | Температурный дрейф собственных частот микромеханического гироскопа |
Авторы: | Вторушин, С. Е. Аршинова, А. А. Нестеренко, Тамара Георгиевна |
Ключевые слова: | гироскопы; температурный дрейф; собственные частоты; микрорезонаторы; монокристаллический кремний; конечно-элементное моделирование |
Дата публикации: | 2014 |
Издатель: | Томский политехнический университет |
Библиографическое описание: | Вторушин С. Е. Температурный дрейф собственных частот микромеханического гироскопа / С. Е. Вторушин, А. А. Аршинова, Т. Г. Нестеренко // Вестник науки Сибири. — 2014. — № 1 (11). — [С. 61-65]. |
Аннотация: | Целью работы является определение характеристик влияниятемпературного воздействия на собственные частоты микромеханического гироскопа, чувствительный элемент которого расположен на кремниевой пластине с кристаллографической ориентацией (111), имеющей изотропию механических и температурных свойств во всех направлениях. Необходимость контроля метрологических характеристик, зависящих от собственных частот во всем температурном диапазоне, подтверждает актуальность данной темы исследования. В ходе исследования в среде ANSYS проведен температурно-модальный анализ модели, имитирующей первичные колебания микромеханического гироскопа. Модель микрорезонатора, выбранная в качестве имитатора первичных колебаний микромеханического гироскопа, адекватно отражает характер колебаний массы по оси первичных колебаний. В результате получены температурные зависимости собственных частот и определены наиболее температурно-независимые моды колебаний для осциллятора, выполненного на кремниевой пластине с кристаллографической ориентацией (111). |
URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16309 |
ISSN: | 2226-0064 |
Располагается в коллекциях: | Векторы благополучия: экономика и социум |
Файлы этого ресурса:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
644.pdf | 696,22 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.