Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16309
Название: Температурный дрейф собственных частот микромеханического гироскопа
Авторы: Вторушин, С. Е.
Аршинова, А. А.
Нестеренко, Тамара Георгиевна
Ключевые слова: гироскопы; температурный дрейф; собственные частоты; микрорезонаторы; монокристаллический кремний; конечно-элементное моделирование
Дата публикации: 2014
Издатель: Томский политехнический университет
Библиографическое описание: Вторушин С. Е. Температурный дрейф собственных частот микромеханического гироскопа / С. Е. Вторушин, А. А. Аршинова, Т. Г. Нестеренко // Вестник науки Сибири. — 2014. — № 1 (11). — [С. 61-65].
Аннотация: Целью работы является определение характеристик влияниятемпературного воздействия на собственные частоты микромеханического гироскопа, чувствительный элемент которого расположен на кремниевой пластине с кристаллографической ориентацией (111), имеющей изотропию механических и температурных свойств во всех направлениях. Необходимость контроля метрологических характеристик, зависящих от собственных частот во всем температурном диапазоне, подтверждает актуальность данной темы исследования. В ходе исследования в среде ANSYS проведен температурно-модальный анализ модели, имитирующей первичные колебания микромеханического гироскопа. Модель микрорезонатора, выбранная в качестве имитатора первичных колебаний микромеханического гироскопа, адекватно отражает характер колебаний массы по оси первичных колебаний. В результате получены температурные зависимости собственных частот и определены наиболее температурно-независимые моды колебаний для осциллятора, выполненного на кремниевой пластине с кристаллографической ориентацией (111).
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16309
ISSN: 2226-0064
Располагается в коллекциях:Вестник науки Сибири

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
644.pdf696,22 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.