Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16692
Название: Влияние кристаллографической ориентации кремниевой пластины на динамические характеристики микромеханического гироскопа
Авторы: Вторушин, Сергей Евгеньевич
Нестеренко, Тамара Георгиевна
Ключевые слова: кристаллографическая ориентация; кремниевые пластины; динамические характеристики; микромеханические гироскопы; конечно-элементное моделирование
Дата публикации: 2014
Издатель: Томский политехнический университет
Библиографическое описание: Вторушин С. Е. Влияние кристаллографической ориентации кремниевой пластины на динамические характеристики микромеханического гироскопа / С. Е. Вторушин, Т. Г. Нестеренко // Вестник науки Сибири. — 2014. — № 2 (12). — [С. 89-93].
Аннотация: Целью работы является определение влияния температурного воздействия на механические характеристики микромеханического гироскопа, чувствительный элемент которого расположен на кремниевой пластине с кристаллографическими ориентациями (100), (110), (111). Необходимость контроля метрологических характеристик, зависящих от собственных частот во всем температурном диапазоне, подтверждает актуальность данной темы исследования. В ходе исследования в среде ANSYS проведен температурно-модальный анализ модели микромеханического гироскопа. В результате получены температурные зависимости собственных частот гироскопа для пяти вариантов расположения чувствительного элемента на кремниевой пластине, а также определена зависимость масштабного коэффициента от температуры для наиболее температуронезависимого варианта расположения чувствительного элемента на кремниевой пластине. На основе математической модели, учитывающей условие резонансной настройки по осям первичных и вторичных колебаний, получены формы выходных колебаний гироскопа.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/16692
ISSN: 2226-0064
Располагается в коллекциях:Вестник науки Сибири

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
659.pdf966,18 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.