Please use this identifier to cite or link to this item: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19091
Title: Плазмодинамический синтез нитрида алюминия в системах с газообразным и твердым прекурсором
Authors: Шаненков, Иван Игоревич
Шаненкова, Юлия Леонидовна
metadata.dc.contributor.advisor: Сивков, Александр Анатольевич
Keywords: плазмодинамический синтез; нитрид алюминия; газообразные перекурсоры; твердые перекурсоры
Issue Date: 2015
Citation: Шаненков И. И. Плазмодинамический синтез нитрида алюминия в системах с газообразным и твердым прекурсором / И. И. Шаненков, Ю. Л. Шаненкова ; науч. рук. А. А. Сивков // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XII Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 1143-1145].
Abstract: Aluminum nitride is prospective material due to its high thermal conductivity. This paper shows the results of obtaining of aluminum nitride by plasma dynamic method in systems with gaseous (nitrogen N2) and solid (melamine C[3]N[6]H[6]) precursors. Synthesized products were investigated using XRD and TEM analyses. According to TEM products predominantly consist of well-crystallized single crystals of aluminum nitride with particle size 60-120 nm and small amount of aluminum particles. The results of XRD show that using of solid precursors is more preferable in the area of obtaining AlN phase but the product has a lot of impurities.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19091
Appears in Collections:Материалы конференций

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
conference_tpu-2015-C21-364.pdf335,54 kBAdobe PDFView/Open


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.