Please use this identifier to cite or link to this item:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19170| Title: | Распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных вакуумно-дуговым осаждением с различным потенциалом смещения |
| Authors: | Чжан Ле Кашкаров, Егор Борисович |
| metadata.dc.contributor.advisor: | Кашкаров, Егор Борисович |
| Keywords: | покрытия; нитрид титана; вакуумно-дуговое осаждение; смещения |
| Issue Date: | 2015 |
| Citation: | Чжан Ле. Распределение элементов в покрытиях нитрида титана, полученных вакуумно-дуговым осаждением с различным потенциалом смещения / Чжан Ле, Е. Б. Кашкаров ; науч. рук. Е. Б. Кашкаров // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XII Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 21-24 апреля 2015 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — [С. 302-304]. |
| Abstract: | This paper is devoted to investigation of element distribution and microparticles formation during deposition of titanium nitride coatings by cathodic vacuum arc with pulsed bias voltage. The results revealed that with the increase in bias voltage from -100 to -300 V, Ti/N ratio and the quantity and size of microparticles decreased. Meanwhile, the uniform distribution of elements in TiN coatings was observed. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/19170 |
| Appears in Collections: | Материалы конференций |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C21-090.pdf | 234,57 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.