Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20472
Название: Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N
Авторы: Пузанова, К. С.
Божко, Ирина Александровна
Калашников, Марк Петрович
Научный руководитель: Сергеев, Виктор Петрович
Ключевые слова: структурно-фазовые состояния; керамические покрытия; нанокомпозитные покрытия; нитрид кремния; алюминий; магнетронные напыления
Дата публикации: 2014
Библиографическое описание: Пузанова К. С. Структурно-фазовое состояние керамического нанокомпозитного покрытия на основе Si-Al-N / К. С. Пузанова, И. А. Божко, М. П. Калашников ; науч. рук. В. П. Сергеев // Перспективы развития фундаментальных наук : сборник научных трудов XI Международной конференция студентов и молодых ученых, г. Томск, 22-25 апреля 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [С. 977-979].
Аннотация: Structural-phase state of coatings on the basis of Si-Al N formed by magnetron sputtering was investigated by TEM, SEM and X-ray analysis. It was established that the coatings on the basis of Si-Al-N are polyphase. They have a nanocrystalline structure and there is the aluminum nitride, the silicon nitride ?-Si3N4 in their compound.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/20472
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2014-C21-330.pdf160,62 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.