Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/21129| Название: | Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления |
| Авторы: | Семенов, В. А. Тусипов, Т. С. Сулейменова, Н. Б. Торопцева, А. А. |
| Ключевые слова: | скорости; рост; медные покрытия; магнетронное распыление |
| Дата публикации: | 2014 |
| Библиографическое описание: | Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления / В. А. Семенов [и др.] // Высокие технологии в современной науке и технике : сборник научных трудов III Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 26-28 марта 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [C. 34-38]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/21129 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2014-C17-007.pdf | 271,25 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.