Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/21129
Название: Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления
Авторы: Семенов, В. А.
Тусипов, Т. С.
Сулейменова, Н. Б.
Торопцева, А. А.
Ключевые слова: скорости; рост; медные покрытия; магнетронное распыление
Дата публикации: 2014
Библиографическое описание: Исследование скоростей роста медных покрытий при различных методах магнетронного распыления / В. А. Семенов [и др.] // Высокие технологии в современной науке и технике : сборник научных трудов III Международной научно-технической конференции молодых ученых, аспирантов и студентов, г. Томск, 26-28 марта 2014 г. — Томск : Изд-во ТПУ, 2014. — [C. 34-38].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/21129
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2014-C17-007.pdf271,25 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.