Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23686
Название: Разработка метода толщинометрии кремниевого покрытия
Авторы: Ловицкий, А. А.
Научный руководитель: Капранов, Борис Иванович
Ключевые слова: толщинометрия; карбидокремниевые покрытия; толщина; покрытия
Дата публикации: 2015
Издатель: Изд-во ТПУ
Библиографическое описание: Ловицкий А. А. Разработка метода толщинометрии кремниевого покрытия / А. А. Ловицкий ; науч. рук. Б. И. Капранов // Неразрушающий контроль: электронное приборостроение, технологии, безопасность : сборник трудов V Всероссийской научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых учёных, Томск, 25-29 мая 2015 г. : в 2 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — Т. 1. — [91-94].
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23686
Располагается в коллекциях:Материалы конференций

Файлы этого ресурса:
Файл РазмерФормат 
conference_tpu-2015-C36-V1-025.pdf482,33 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.