Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23686| Название: | Разработка метода толщинометрии кремниевого покрытия |
| Авторы: | Ловицкий, А. А. |
| Научный руководитель: | Капранов, Борис Иванович |
| Ключевые слова: | толщинометрия; карбидокремниевые покрытия; толщина; покрытия |
| Дата публикации: | 2015 |
| Издатель: | Изд-во ТПУ |
| Библиографическое описание: | Ловицкий А. А. Разработка метода толщинометрии кремниевого покрытия / А. А. Ловицкий ; науч. рук. Б. И. Капранов // Неразрушающий контроль: электронное приборостроение, технологии, безопасность : сборник трудов V Всероссийской научно-практической конференции студентов, аспирантов и молодых учёных, Томск, 25-29 мая 2015 г. : в 2 т. — Томск : Изд-во ТПУ, 2015. — Т. 1. — [91-94]. |
| URI: | http://earchive.tpu.ru/handle/11683/23686 |
| Располагается в коллекциях: | Материалы конференций |
Файлы этого ресурса:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| conference_tpu-2015-C36-V1-025.pdf | 482,33 kB | Adobe PDF | Просмотреть/Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.