Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/2825
Название: Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов
Авторы: Воронов, А. В.
Сергеев, Виктор Петрович
Сергеев, О. В.
Нейфельд, В. В.
Параев, Ю. Н.
Ключевые слова: нанокомпозитные покрытия; магнетронное осаждение; химический состав; фазовый состав; микротвердость; покрытия; нитрид титана-аллюминия; нитрид алюминия-кремния
Дата публикации: 2009
Издатель: Томский политехнический университет
Библиографическое описание: Получение нанокомпозитных покрытий на основе системы Ti-Al-Si-N с помощью двух магнетронов / А. В. Воронов [и др.] // Известия Томского политехнического университета [Известия ТПУ]. — 2009. — Т. 315, № 2: Математика и механика. Физика. — [С. 147-150].
Аннотация: Путём вакуумного магнетронного осаждения при одновременной работе двух магнетронов получены нанокомпозитные покрытия на основе системы Ti-Al-Si-N. Исследовано влияние параметров магнетронного распыления разных мишеней на химический состав и микротвердость покрытия. С помощью рентгеноструктурного анализа определен фазовый состав и средний размер субзёрен основной фазы в полученных покрытиях Ti-Al-Si-N.
URI: http://earchive.tpu.ru/handle/11683/2825
ISSN: 1684-8519
Располагается в коллекциях:Известия ТПУ

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
bulletin_tpu-2009-315-2-33.pdf730 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.